1、大、小仓无法补气
原因：①手套箱内通往大小仓的气孔可能被塑料薄膜等阻塞;②电磁阀是否没有打开。
方法：①依据管路走向，确认气孔位置，疏通管路;②查看线路及电磁阀。
2、大小仓无法抽气
原因：①大小仓内抽气孔被塑料薄膜等阻塞或舱门漏气;②仓门没关紧，或是大小仓密封圈松动。
方法：①依据管路走向，确认气孔位置，疏通管路;②关紧仓门，查看大小密封圈;③查看作业气压是否过低(由于大仓抽气阀是气动阀)。
3、清洗时箱压继续添加
原因：清洗阀门没有打开、进气压力太大、管路不疏通造成。
方法：①确保管路疏通，最好不要折弯;②清洗时，箱内相对压力继续低于0.5毫巴。
4、净化柱主阀毛病
原因：①作业气压力不足0.5Mpa;②主阀信号反馈毛病。
方法：①更换作业气瓶，或查看减压阀副表压力在0.5Mpa;②查看主阀信号开关。
5、循环不能敞开
原因：风机变频器低压或高压维护。
方法：待电压稳定后，关机隔1分钟后重启。
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