超低水氧控制: 水和氧的浓度严格控制在≤0.1ppm,为半导体材料提供极致纯净的加工环境,确保器件的高性能和稳定性
箱体防爆设计: 采用304不锈钢材质,确保在处理易燃易爆物质时的安全性,同时箱体结构稳固,耐用性强
高效气体净化循环系统: 配备铜触媒和分子筛,有效去除水和氧气,循环能力达到90 m³/h,确保箱体内环境的持续稳定
智能控制系统: 采用PLC触摸屏控制,实现自诊断、断电自启动、压力控制和自适应功能,操作简便,提高工作效率
高标准泄漏率: 箱体泄漏率小于0.001vol%/h,远低于行业标准,确保箱体内的环境不受外界影响
多功能过渡舱: 设有大过渡舱和小过渡舱,方便物品的进出,同时保持箱体内的环境稳定