产品概述
本款半导体洁净系统手套箱专为高精度电子制造、材料研究与敏感工艺设计，集成FFU洁净系统、真空过渡舱及智能操控平台，确保内部环境水氧含量＜0.1ppm，可以为半导体、锂电池、OLED等高端领域提供超净无氧环境，保障工艺零污染。

核心优势

1. FFU洁净系统

• 内置高效风机过滤单元（FFU），持续循环净化箱内空气，有效拦截颗粒污染物，满足半导体工艺对无尘环境的严苛要求。

2. 真空抽吸过渡舱

• 双舱门设计，支持快速抽真空/充惰性气体，物料传递时有效隔绝外部污染，水氧渗透率极低，确保内部环境稳定性。

3. 真空加热吸附平台

• 集成加热功能（温度可调），搭配真空吸附固定装置，便于晶圆、基板等材料的精准定位与无氧处理，提升工艺效率。

4. 智能触控操作

• 一键式智能控制面板，实时监控箱体温湿度、水氧值、压力等参数，支持数据记录与报警功能，操作直观便捷。

5. 极致环境控制

• 采用高密封材料与多层气体净化技术，水氧浓度长期稳定＜0.1ppm，配备循环纯化系统，进一步延长惰性气体使用寿命。