1.超低水氧控制： 水和氧的浓度严格控制在≤0.1ppm，为半导体材料提供极致纯净的加工环境，确保器件的高性能和稳定性

2.箱体防爆设计： 采用304不锈钢材质，确保在处理易燃易爆物质时的安全性，同时箱体结构稳固，耐用性强

3.高效气体净化循环系统： 配备铜触媒和分子筛，有效去除水和氧气，确保箱体内环境的持续稳定

4.智能控制系统： 采用PLC触摸屏控制，实现自诊断、断电自启动、压力控制和自适应功能，操作简便，提高工作效率

5.高标准泄漏率： 箱体泄漏率小于0.001vol%/h，远低于行业标准，确保箱体内的环境不受外界影响