• 可调流量过滤手套箱系统具有最大的多功能性，最适合需要开环和闭环循环的应用。可调节阀门让您可以快速切换模式并轻松连接到外部供应和排气系统。

• 闭环过滤手套箱系统持续过滤和循环手套箱内的空气，而不会引入任何环境空气。它们适用于需要低颗粒和受控气体环境的应用。它们可以与氮气等工艺气体结合，以在外壳内保持低湿度、低氧气环境；

• 开环过滤手套箱系统包括入口和出口过滤器。入口过滤器可去除吸入手套箱的外部空气中的微污染物。出口过滤器可捕获排气中的细小颗粒，从而安全地将废气排放到室内。单程配置将过滤后的环境空气引入外壳，因此不适用于需要低湿度、低氧或类似受控气体环境的应用；

• 100/10 级净化手套箱广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境，如：锂离子电池及材料、半导体、超级电容、激光焊接、钎焊、材料合成、OLED、MOCVD等，超低颗粒环境也使这些装置适用于其他材料保护应用，例如微电子、光学、细胞培养、医疗设备、微繁殖、基因组学、蛋白质组学和细胞生物学；

• 优异的气体均匀分布性能，风速可以调节过滤效率99.999%;

• 指标：水、氧≤0.1ppm;

• 泄漏率：≤0.001vol%/h;

• ≥（悬浮粒子直径）5.0μm小于29个/m3

• ≥（悬浮粒子直径）0.5μm小于3520个/ m3

• 电磁阀采用模块化设计，泄漏率降低，更换方便;

• 带滑动托盘的大过渡舱，过渡舱门设计独特，轻巧、开启方便；

• 惰性气体净化系统；HEPA高效率滤器;

• SIEMENS微控制器；SIEMENS操作触摸屏幕，易于进入各功能;；

• 封闭式气体循环，无油和真空；全不锈钢气体流量管道及配件;

• 数据备忘录:自动记录系统数据;

• 脚踏代替手动调节压力控制;

• 自动压力控制，工作气压可设定在+12mbar范围；

• 符合国家标准：《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010；《洁净室及相关受控环境》GB/T25915.3-2010

技术参数内容